Mô tả
KHÍ F2/N2 LÀ GÌ?
Khí F2/N2 là một loại hỗn hợp khí được sử dụng trong quá trình sản xuất chip bán dẫn và chế tạo các thiết bị vi điện tử. Đây là sự kết hợp giữa Flo (F2) và Nitơ (N2). Sự tỷ lệ giữa hai loại khí này được kiểm soát để đảm bảo môi trường chính xác và ổn định trong các thiết bị sản xuất chip bán dẫn.
Thành phần nồng độ: 20% Flo – 80% Nito
*Bên cạnh những thành phần nồng độ trên, VSG GAS còn cung cấp thành phần nồng độ Flo và Nito theo yêu cầu riêng biệt để phù hợp với nhu cầu sử dụng của Khách hàng.
ỨNG DỤNG KHÍ F2/N2 TRONG SẢN XUẤT CHIP BÁN DẪN
Công dụng của Khí F2/N2
Hỗn hợp khí F2/N2 đang trở thành giải pháp hàng đầu trong công nghệ bán dẫn nhờ khả năng làm sạch và tạo hình chính xác. Sự kết hợp giữa tính hoạt động mạnh của Flo (F2) và tính trơ của Nitơ (N2) mang lại hiệu quả vượt trội trong các công đoạn sau:
1. Hỗn hợp khí F2/N2 đang trở thành giải pháp hàng đầu trong công nghệ bán dẫn nhờ khả năng làm sạch và tạo hình chính xác. Sự kết hợp giữa tính hoạt động mạnh của Flo (F2) và tính trơ của Nitơ (N2) mang lại hiệu quả vượt trội trong các công đoạn sau:
2. Tối ưu hóa quy trình lắng đọng lớp mỏng Trong quá trình sản xuất linh kiện, hỗn hợp khí F2/N2 hỗ trợ kiểm soát độ dày và tính đồng nhất của các lớp màng. Điều này đặc biệt quan trọng để tạo ra các bề mặt láng mịn, đảm bảo khả năng dẫn điện và độ bền của mạch tích hợp.
3. Vai trò của Nitơ (N2) trong kiểm soát môi trường Nếu F2 là “mũi khoan” thì N2 là “tấm khiên”. Nitơ giúp pha loãng nồng độ Flo để kiểm soát phản ứng, đồng thời ổn định áp suất và nhiệt độ trong buồng máy. Sự cân bằng này giúp duy trì hiệu suất sản xuất liên tục và an toàn.
Tổng kết: Sử dụng hỗn hợp khí F2/N2 chất lượng cao là chìa khóa để các nhà máy bán dẫn nâng cao năng suất và đảm bảo tiêu chuẩn khắt khe của các dòng chip thế hệ mới.